|
光學微機電產品封裝技術之開發
1- 背景說明
本計畫目標是評估"光學微機電產品封裝技術應用之可行性"。
因應日漸增加光學微機電產品之封裝需求,由於各式各樣設備附加辨識偵測功能元件,故延伸出各式封裝技術以應光學微機電產品需要。本計劃之封裝技術在於能夠圓滿地保護光學微機電產品於適當環境中工作
,所謂適當地環境就是指溫度、溼度、微粒、酸鹼度、震動...等環境因素。鑑於軍事科技發展日漸無人化、智慧化、光學辨識、認知、偵測等功能元件,將會成為輸入資訊之重要元件。此項重要元件功能有賴光學微機電產品之使用,因此有效之保護元件端靠封裝技術之發展,故此項封裝技術在國防上有其價值。新研發封裝技術名稱是
Open Cavity Package Technology,適用於多晶粒產品、感應器產品、光學元件產品、微機電系統產品等。
2- 初期研討及材料研發
比較新產品在技術上及材料上之需要後,擬定研發目標來開發新製程新材料。新製程比舊製程在程序數目上較少,節省工時,相對成本低。

新材料之選擇,主要針對可以在攝氏200度以上工作的塑膠材料。目前可資選擇的塑膠材料有下列三種- PBT, PPS, LCP。這三種材質各有特性根據實驗結果及產品特性和製程考量,以LCP
最有利產品生產。

3- 實驗生產
在研發實驗生產中學得很多經驗,其中塑膠材質和金屬材質之結合力的探討結果,給予產品最佳的結構組合。其中關係如下圖所示:

同時在實驗生產中,我們也發現產品的幾何形狀對於產品的品質是極為重要之關鍵,不良的幾何形狀設計會影響產品結構及生產效率。目前產品之外觀形狀設計之一如下圖所示:


4- 量產說明
本研發之光學微機電產品封裝技術在實務上已有部份進入量產,生產中驗證了研發技術應用之可行,並提供公司未來產品之封裝技術。由於未來許多
MEMS 元件,Photo 光學元件都有會使用光學微機電產品封裝技術,故在國防產品一定有所利用及貢獻。下列圖片所示 MEMS
元件之封裝,以供參考。
 
|